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单选题 热激励硅微结构谐振式压力传感器中,作为一次敏感元件直接感受被测压力的是( )

A. 热激励电阻

B. 硅梁

C. 方形硅膜片

D. 浅槽

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时间:2026-04-27 01:48:44

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