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多选题 下列所述哪些是MEMS器件的特点

A. 体积小

B. 价格昂贵

C. 重量轻

D. 功耗低

微电子机械系统应用课程封面

学科：微电子机械系统应用

时间：2024-06-10 08:07:08

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