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多选题 基于工作原理,MEMS传感器可以分为哪几类
A. MEMS化学传感器
B. MEMS物理传感器
C. MEMS生物传感器
D. MEMS智能传感器
学科：微电子机械系统应用
时间：2024-06-10 08:07:08
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