题目详情
单选题 ( )的目的是把注入的杂质原子电离成离子,形成注入离子束,并输出具有一定动能的正离子束
A. 离子源
B. 磁分析器
C. 加速管
D. 靶室
学科:集成电路制造工艺
时间:2023-12-19 01:29:26
相关题目
相关作业