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单选题 ( )的目的是把注入的杂质原子电离成离子,形成注入离子束,并输出具有一定动能的正离子束

A. 离子源

B. 磁分析器

C. 加速管

D. 靶室

集成电路制造工艺课程封面

学科:集成电路制造工艺

时间:2023-12-19 01:29:26

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