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单选题 电子束蒸镀物理淀积(EDPVD)一般可用于( )薄膜的制备

A.

B. 二氧化硅SiO2

C. 氮化硅Si3N4

D. 多晶硅PSG

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时间:2024-01-06 06:06:28

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