A. 离子注入会导致晶圆带电,需要用电子予以中和

B. 晶圆表面颗粒污染会阻挡离子束,对良品率造成影响

C. 离子注入工艺可以轻松将各种掺杂离子区分开来,可以杜绝其它杂质元素污染

D. 离子注入工艺中使用的气体几乎全部是剧毒或易燃易爆气体,操作时需要严格遵守安全章程