A. 氟化硼离化产生的单个硼离子是晶圆所需要的

B. 质谱分析仪会产生磁场,不同种类的离子以15 ~ 40keV的能量离开离化子系统

C. 每一种带负电的离子都会被以特定的半径沿弧形扭转,并和硼离子一起通过狭缝

D. 在有些系统中,被加速后对产生质量干扰的离子还会进行分析