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单选题 为什么要用大马士革结构实现铜互连

A. 光刻胶会污染铜,形成缺陷

B. 没有一种有效的刻蚀铜的方法

C. 大马士革结构可以防止铜扩散

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学科:集成电路制造技术原理与工艺

时间:2024-12-09 09:37:51

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