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多选题 改善漏致势垒降低效应的方法有()

A. 源漏离子注入

B. 提高PW掺杂浓度

C. 提高沟道掺杂浓度

D. 晕环(Halo)/口袋(Pocket)离子注入

集成电路制造技术原理与工艺课程封面

学科：集成电路制造技术原理与工艺

时间：2024-12-09 16:27:40

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A. 源漏离子注入B. 提高PW掺杂浓度C. 提高沟道掺杂浓度D. 晕环(Halo)/口袋(Pocket)离子注入
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